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基于四种激光测量用典型传感器的测控方案研发

基于四种激光测量用典型传感器的测控方案研发

【摘要】:
提供测控方案,解决测量需求,为工业自动化生产提供坚实的数据基础。本文介绍四种激光典型传感器的应用。

提供测控方案,解决测量需求,为工业自动化生产提供坚实的数据基础。本文介绍四种激光典型传感器的应用。
激光传感器:利用激光技术进行测量的传感器。它由激光器、激光检测器和测量电路组成。激光传感器是新型测量仪表,它的优点是能实现无接触远距离测量,速度快,精度高,量程大,抗光、电干扰能力强等。
1、激光位移传感器
采用激光三角法测量。测量时传感器发射的激光照射被测物的表面,传感器内的摄像系统拍摄被测物表面光斑的图像。通过分析光斑在摄像系统CCD或CMOS芯片上的位置即可得到传感器到被测物表面的距离。
2、激光测距传感器
采用相位式测量。利用无线电波段的频率,对激光束进行幅度调制并测定调制光往返测线一次所产生的相位延迟,再根据调制光的波长,换算此相位延迟所代表的距离。
3、二维激光测量传感器
采用激光三角法测量。测量时传感器发射1束线激光照射被测物的表面,传感器内的摄像系统拍摄被测物表面线形光斑的图像。通过分析光斑在摄像系统CCD或CMOS芯片上的位置可得到线形光斑X轴和Z轴的坐标尺寸。
4、激光位敏传感器
采用PSD芯片测量激光能量中心的位置,PSD是利用离子注入技术制成的一种可确定光的能量中心位置的结型光电器件。该传感器测量精度高,一维精度可高达0.2um。另外,芯片的光敏面上无象限分割线,消除了测量死区,对光斑位置可连续测量。
基于这四种传感器,完成了各种测量仪器的研发,测径仪、测宽仪、测厚仪、内孔直线度测量仪、双金属片弯曲度检测仪、轮廓测量仪、内径测量仪等等均是利用激光测量传感器生产的检测设备,对生产具有巨大帮助。